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高純度有毒氣體報警器:半導體制造的“安全衛士”選對了嗎?

來源:技術文章    更新時間:2026-01-26    瀏覽:131次

半導體制造行業,高純度有毒氣體如硅烷(SiH?)、PH?)、(AsH?)等的應用極為廣泛,但這些氣體一旦泄漏,不僅可能引發爆炸、中毒等嚴重事故,還會對精密設備造成不可逆的損害。如何確保生產環境的安全?高純度有毒氣體報警器成為半導體制造企業的“安全剛需"。艾伊科技AG310/AG311系列有毒氣體探測器,憑借模塊化設計、高精度傳感和智能報警功能,正成為行業安全監測的產品。半導體制造行業為何需要專用高純度有毒氣體報警器?

半導體制造過程中,氣體純度直接影響芯片良率,而有毒氣體泄漏的危害更不容忽視。例如,硅烷泄漏可能引發自燃,濃度超標會導致人員中毒,傳統氣體報警器可能因傳感精度不足、抗干擾能力弱,無法滿足半導體車間對微量泄漏(ppm級)和復雜氣體共存環境的監測需求。而高純度有毒氣體報警器通過半導體傳感技術,可精準識別單一氣體濃度,避免交叉干擾,確保報警準確性。

AG310/AG311:模塊化設計,滿足半導體行業定制化需求

艾伊科技AG310/AG311系列有毒氣體探測器采用模塊化傳感器設計,用戶可根據車間氣體種類(如硅烷、氨氣等)靈活更換檢測模塊,實現“一機多用"。其核心參數如下:

檢測范圍:0-100ppm(支持定制量程);

響應時間(T90):≤30秒,快速捕捉泄漏;

報警方式:大光圈聲光報警+三組開關量輸出,可聯動排風、切斷閥等設備;

防護等級:IP66,適應潔凈室、無塵車間等嚴苛環境。

高純有毒氣體氣體監測儀:從預警到聯動的全流程防護

半導體車間對安全響應速度要求AG310/AG311系列不僅支持本地聲光報警,還可通過開關量信號與DCSPLC系統對接,實現泄漏自動處置。例如,某12英寸晶圓廠部署該設備后,當濃度達5ppm時,系統立即觸發排風裝置,10秒內將濃度降至安全閾值,避免人員中毒和設備腐蝕。

結語:高純度有毒氣體報警器,守護半導體制造的“芯"安全



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