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半導體行業 GDS 系統應用案例 —— 從毒氣隱患到智能防控的破局

來源:技術文章    更新時間:2025-07-04    瀏覽:216次

一、案例背景:半導體車間的 “隱形殺手" 與監測困境

某半導體企業 A 廠在芯片制造過程中,涉及硅烷、氨氣、三氟化氮等有毒氣體的使用。傳統單點式氣體檢測設備常因布線復雜、響應滯后導致監測盲區,曾在 2024 年因氨氣泄漏未及時預警,造成產線臨時停產 4 小時,直接經濟損失超百萬元。企業需一套能覆蓋全廠區、支持無線傳輸與智能聯動的有毒氣體檢測系統

二、痛點解析:半導體車間有毒氣體監測的三大挑戰

氣體種類復雜,檢測精度要求高:半導體工藝涉及十余種有毒氣體,部分氣體(如硅烷)爆炸下限低至 1.3%,需檢測精度達 0.1% LEL 的設備。

車間布局密集,傳統布線難覆蓋:潔凈車間內設備緊湊,傳統 4-20mA 有線傳輸方案布線成本高,且易受電磁干擾。

應急響應滯后,聯動控制缺失:單點報警無法實現區域聯防,如某刻蝕工序氨氣泄漏時,需同步觸發排風、切斷氣源及上位機報警,傳統系統難以協同。

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三、解決方案: GDS 系統的 “無線 + 智能" 聯動方案

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1. 硬件架構:多層級監測網絡全覆蓋

氣體檢測層:在擴散爐、刻蝕機等高危區域部署固定有毒氣體報警儀,采用催化燃燒式與電化學傳感器,實時監測有毒氣體濃度,支持 RS485 信號無線傳輸。

區域控制層:配置 AEGDS2000 雙屏機柜,最大支持 500 路 RS485 信號接入,通過 60 個分區管理功能,精準定位泄漏區域。

聯鎖控制層:當氣體濃度超過預設值,系統自動觸發氣體無線報警系統,聯動啟動車間排風裝置、切斷氣體鋼瓶閥門,并通過聲光報警提醒現場人員。

2. 技術亮點無線通訊優化:采用 RS485 轉光纖技術,解決車間電磁干擾問題,傳輸距離擴展至 2km,滿足廠區大面積覆蓋需求。

 

安裝便捷性:對比傳統有線方案,無線有毒氣體檢測系統安裝工時減少 60%,無需破壞潔凈車間墻體,僅需在機柜端完成信號模塊與電源接線

 

四、實施效果:從 “被動應對" 到 “主動防控" 的轉變

安全性提升:系統運行 1 年內,成功預警 3 次微量硅烷泄漏,未發生任何安全事故

運維成本降低:主備電源自動切換功能減少斷電故障,歷史數據查詢功能幫助追溯氣體濃度變化,維護效率提升 40%。

合規性保障:通過分區報警與上位機數據對接(支持 DCS/PLC 系統),滿足安監部門對有毒氣體監測的實時監管要求。

五、行業啟示:半導體氣體檢測系統的選購與安裝指南

選型關鍵點:

確認氣體種類與檢測范圍,優先選擇兼容多氣體傳感器的設備(如支持可燃氣體 + 有毒氣體雙檢測)。

關注系統容量與分區能力,建議按每 50 臺設備劃分 1 個監測區域。

安裝要點:

探測器需安裝在氣體易積聚處(如設備上方 1-2 米處),避開通風口。

無線報警系統需搭配信號中繼器,確保車間死角信號覆蓋

以技術筑牢半導體安全防線

在半導體行業高精度、高安全的生產要求下,有毒氣體檢測系統已從 “可選配置" 變為 “防線"。XX GDS 系統通過無線報警、智能聯動與靈活部署的優勢,不僅解決了 A 廠的毒氣監測難題,更成為電子行業氣體安全管理的方案。


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